As principais áreas de actividade na pesquisa MEMS solicitados e esperados nesta conferência incluem, mas não estão limitados a:
- Ferramentas de design, simulação e análise com verificação experimental
- Tecnologias e processos de fabricação
- Silício e materiais não-silício
- Técnicas de integração eletro-mecânicos
- Montagem e embalagem abordagens
- Técnicas de avaliação de metrologia e operacional
- Arquitetura do sistema
- Investigação e desenvolvimento industrial
As áreas mais importantes de actividade no pedido de MEMS solicitado e esperado na conferência incluem, mas não estão limitados a:
- Sensores, atuadores e sistemas mecânicos, térmicos e magnéticos
- Microcomponentes fluídicos e microssistemas
- Microdevices para sistemas biomédicos
- Sistemas de análise micro químicas
- Microdevices para detecção de inércia
- Microdevices para comunicação sem fio
- Microdevices para captação de energia
- Microdevices optomechanical e microssistemas
- Microdevices para armazenamento de dados
- Dispositivos e sistemas nano-eletro-mecânicos